帶集成控制單元的磁懸浮型 TGkine-B系列?

集成控制器/電源。無(wú)需互連電纜/電纜管道，也無(wú)需機(jī)架安裝。對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)造成的壓力較小。延續(xù)了我們的 TG-M 系列傳統(tǒng)。優(yōu)化的復(fù)合轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提供*的性能。

帶集成控制單元的磁懸浮式渦輪分子泵的橫截面

TGkine1700M-B / 2200M-B

- 集成控制器和電源

-節(jié)能

-緊湊的

- IP54 標(biāo)準(zhǔn)

- 多種接口選項(xiàng)

- 符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：

CE / NRTL / 半 S2

應(yīng)用

• 太陽(yáng)能電池制造

• 玻璃、光學(xué)鍍膜

• 薄膜涂層

• 表面處理、表面改性

• 液晶顯示器制造

• 半導(dǎo)體制造

• 加速器、空間模擬器

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

半導(dǎo)體/電子元件

半導(dǎo)體器件是通過(guò)在晶圓上重復(fù)薄膜沉積、光刻膠曝光、蝕刻和離子植入等過(guò)程制造的。其中許多過(guò)程都是在真空環(huán)境中執(zhí)行的，并檢查其結(jié)果。干式真空泵用于中低真空工藝，渦輪分子泵和低溫泵用于高真空工藝。

對(duì)于蝕刻，真空泵必須對(duì)所用氣體具有耐腐蝕性、防止副產(chǎn)品沉積的溫度控制、對(duì)大量工藝氣體的高吞吐量性能以及對(duì)產(chǎn)生熱量的冷卻能力。安裝靈活性也很重要。

我們TGkine MI-B系列?,TGkine MI-R 系列?TG-MI系列渦輪分子泵具有高抽速、耐腐蝕、溫控能力強(qiáng)、高吞吐量性能、制冷量、安裝靈活性等特點(diǎn)。

我們的TG-ML系列低振動(dòng)磁懸浮渦輪分子泵用于光刻或CD-SEM和TEM設(shè)備，用于測(cè)量納米制造結(jié)構(gòu)。它們干凈，具有*的低振動(dòng)性能。