EBARA荏原干式真空泵EV-S200(P/N)由深圳市京都玉崎電子有限公司供應(yīng),并提供報價圖片,!
EV-S型 干式真空泵
EV-S 型為獨立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝(如:load lock、 SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附 加功能的同時,實現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 ”。
特點
在“低能耗、占地小、輕量化”方面達(dá)到業(yè)內(nèi)*水平;耐腐蝕材料、氮氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致;通過增強的傳感功能減少停機時間.
EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列無油真空泵產(chǎn)品,具有清潔、節(jié)能、緊湊等特點,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域。以下是其主要介紹:
產(chǎn)品特點
無油清潔:采用非接觸式密封技術(shù),無需使用油或液體進(jìn)行密封,能實現(xiàn)清潔真空,避免油和水的回流或擴散,適用于對真空環(huán)境要求較高的場合。
節(jié)能高效:的優(yōu)化轉(zhuǎn)子設(shè)計,提高了壓縮效率,降低了功耗。部分型號還具備怠速模式,可進(jìn)一步節(jié)省能源。
小巧輕便:具有小型輕量化的設(shè)計特點,占用空間小,便于安裝在有限的空間內(nèi),且一些型號易于搬運,適合需要多次移動的應(yīng)用場景。
低噪音振動:運行時噪音和振動水平較低,能為用戶提供較為安靜的工作環(huán)境,同時也有助于設(shè)備的穩(wěn)定運行和延長使用壽命。
智能控制:具備*的控制管理功能,如數(shù)據(jù)保存、警報履歷備份等,部分型號還可通過可編程的 LCD 控制器進(jìn)行手動預(yù)警設(shè)置,方便用戶監(jiān)控和管理設(shè)備。



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