磁懸浮型TG-M系列
使用磁懸浮軸承可實現完全無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。
磁懸浮式渦輪分子泵的截面
TG390M型
■任何方向
■緊湊的尺寸
■節能
■快速啟動和停止
■維修
■無振動
■型號無聯軸器
■自動校準
■高吞吐量
■轉速控制
■串行通信
■NRTL SEMI-S2 CE安全標準
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產、光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發
Inlet flange | VG100 | |
CF100 | ||
ISO-B100 | ||
Volume flow rate | N2 (L/s) | 340 |
N(with protective screen) (L/s) | 320 | |
H2 (L/s) | 290 | |
Max. compression ratio | N2 | 1×108 |
H2 | 4.5×103 | |
Base pressure | VG?ISO-B/CF (Pa) | <1×10<1×10 |
VG?ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10<7.5×10 | |
Max. throughput※1 | N2 (sccm) | 2000 |
Startup time | (min) | 2~3 |
Shutdown time | (min) | 4~5 |
Max. backing pressure | (Pa / Torr) | 400 / 3 |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧160 |
Position | Any orientation | |
Weight (kg) VG?ISO-B/CF | 14 / 17 | |
Controller | TC010MA | |
Special specifications *Contact our sales representative for more information. | -Chemical-use -Thermal insulation TG-MI -Ultra low vibration TG-ML | |
*1 ： 使用320L/min的前級真空泵時。
[使用環境溫度]
確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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京公網安備 11010802023672號
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。