任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設(shè)計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設(shè)備或運動部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。

潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產(chǎn)品陣容

TG350F

• 任何方向

• 緊湊的尺寸

• 節(jié)能

• 快速啟動

• 帶排氣口快速關(guān)閉

• 用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)

• 串行通信
  ※RS232C串行接口

• 安全標準 NRTL / SEMI-S2 / CE

應用

• 半導體生產(chǎn)

• 電子槍排氣、電離源排氣

• FPD制造

• 表面處理、表面改性

• 各種電子元器件的制造

• 分析、檢測設(shè)備

• 燈具生產(chǎn)、光學元件生產(chǎn)

• 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

• 熱處理

• 研究與開發(fā)

*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

*1 ： 使用160L/min的前級真空泵時。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些使用氣體會使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。