N90 系列六自由度并聯機構,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規格型號可供選擇,閉環型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用的*。
特點:
? 六軸 θx、θy、θz、X、Y、Z
? 閉環定位精度高
? 小耦合
? 誤差無積累
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N90 系列六自由度并聯機構,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規格型號可供選擇,閉環型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用的*。
特點:
? 六軸 θx、θy、θz、X、Y、Z
? 閉環定位精度高
? 小耦合
? 誤差無積累