SMC高純度用 一段式小型減壓閥AP501S2PWFV4FV4

適用于半導體產業等高純度的氣體供給
閥體材質: SUS316L 二次熔煉或SUS316L
接氣部電解拋光處理
外部間隙密封構造
?B2H6氣缸應用的調節器
?SS 316L VAR次要機架結構
?表面粗糙度15 Ra max / 10 Ra avg(10、7和5 Ra max選項)
?真空至3500 psig(241 bar)入口; HR選項為4,500 psig(310 bar)
?高流量HF選件
?兩級減壓消除了供應壓力的影響
?旋鈕LOTO選項
設定壓力 01 0.0034~0.07 MPa;負壓調整規格(A):-88kPa~0.07MPa
材質 S 閥體:SUS316L 二次熔煉,閥芯:SUS316L,膜片:Ni-Co合金,孔口:SUS316L
內面粗糙度 - 0.4μm(標準)
負壓調整 - 標準
通口數 2PW 2通口
配管連接方式(進口側①) FV4 1/4端面密封接頭 內螺紋
配管連接方式(出口側②) FV4 1/4端面密封接頭 內螺紋
壓力表通口(出口側③) - 無表通口
壓力表表示 - psig/bar
閥座材質 - PCTFE(標準)
可選項1 - 標準
可選項2 - 標準
膜片材質 Elgiloy
孔口材質 SUS316L
Cv值 0.06
使用流體 不腐蝕接氣體部材質的流體
環境溫度 -40~71 ℃
使用流體溫度 -40~71 ℃
耐壓力 3.4 MPa
安裝方式 底面安裝
內部容積 2.4 cm3
SMC高純度用 一段式小型減壓閥AP501S2PWFV4FV4
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